为：
δ_min = d/2 =λ/(4sinθ)
【突破性验证：】
当θ趋近 90°时，sinθ趋近 1。
此时理论极限可达λ/4。
对比传统瑞利极限 0.61λ/NA（空气中NA反射镜对准->干涉曝光。
【注：虽然该干涉方案主要适用于周期性图案的制备，但可作为先进制程中特定层的低成本替代方案，在生产约束内实现良率与成本的最优解。】
李东放下笔，看了一眼时间。
还剩十五分钟……
本站若有图片广告属于第三方接入，非本站所为，广告内容与本站无关，不代表本站立场，请谨慎阅读。
Copyright © 2020 出品书屋 All Rights Reserved.kk
SiteMap