长的射线，从波长13.5nm的极紫外线，再到5nm波长的软X射线，都能轻轻松松的提供，并且功率最大可以达到4kw，远超cymer公司的锡滴轰击法。”
“不过同样的，SSMB也要进行原理验证试验，完成束流动力学，瓦光源物理设计和等等。”
“这些工作，看上去很简单，但是都需要大量的时间。”
“这要是申请科研经费的话，就是极大的缺陷。”
“但是在银河科技这里，就不是什么问题了。”
“……”
听着王东来的大致解释，徐松尧也有些明白了。
想了一下，就提出了自己的问题。
“东来，光刻机本来的能耗就很大，按照你的设想，直接做成了光刻工厂，那么能耗就更加严重了，这一点，你有没有考虑过？”
王东来轻轻笑了笑，就出声解释道：“徐叔，这一点，我当然明白。”
“光刻机的能耗大，主要是因为它要维持金属蒸汽，产生高能打靶激光，产生的光在蒸汽中被吸收，深紫外线极其容易被物质吸收，光路上被反射膜、透镜和管道吸收等。”
“而变成了光刻工厂的话，就主要集中在电子加速以及磁场维持，以及产生诱导激光和产生的的光在光路上被反射膜、透镜和管道上吸收。”
“这个问题，我通过数学模型模拟了很多次，其实并没有想象的那么严重，光刻厂的总耗能确实是有可能要比光刻机大一些，但是因为光刻工厂的整体效率比光刻机高，所以平均下来的话，耗能并没有提升太多，还在可接受范围内。”
徐松尧没有停下，继续问出来了自己第二个问题。
“掩膜板的问题要如何解决，如果是利用多条光刻线路来完成的话，是不是就要多出数倍的掩膜板？”
“高功率光源对于光器件的损伤更加严重，放到光刻工厂的话，损耗量和损耗速度，将会成倍数增加，这么一来，就等于是需要重新研发这些光器件，就连散热问题也要重视。”
“第三个问题，那就是最重要的一个良品率问题。”
“从光刻机变成光刻工厂，这不仅仅是理念的变化，更是一种方案的选择，光刻工厂的投入不小，更何况还是银河科技出资研发。”
“那么这就要求光刻工厂是要盈利的，如果做不到这一点，光刻工厂就不能算是一个合格的设计方案。”
“一个很浅显的道理，工艺步骤越多，对于良品率的
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